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最小径Φ0.125mmの極小スタイラスによるスキャニング測定が可能 微細形状の高効率、高精度測定を実現します。
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新設計の対物レンズ交換可能な7倍高速ズームユニットで、広視野から微細形状まで確実に測定対象を捉えます。
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画面上のルーラーで簡単に正確な測定が出来ます。
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測定したい場所をタッチパネルでなぞるだけで、測定が実行できます。