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最小径Φ0.125mmの極小スタイラスによるスキャニング測定が可能 微細形状の高効率、高精度測定を実現します。
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全機種にストロボ照明を搭載 画像測定の常識を覆す圧倒的なスループットで生産性向上を実現
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新設計の対物レンズ交換可能な7倍高速ズームユニットで、広視野から微細形状まで確実に測定対象を捉えます。
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ズーム比7倍~14倍で、簡易測定から微細測定まで幅広くカバー。作業性も追及したシリーズです。